报告。R是以压痕塑性变形深度来确定硬度值指标。一0。002毫米做一个硬度单位;维氏硬度-HV以120kg以内的载荷顶角为136度的金刚石方形锥压入器压入材料表面,用材料压痕凹坑的表面积除以载荷值,即为维
等等的不同来设计调整抛光液的体系。 化学机械抛光液通常由磨料(氧化铝、氧化硅、碳化硅、金刚石等)、光亮剂(有机酸、蜡等)、分散剂(聚丙烯酸钠、聚羧酸、聚乙烯吡咯烷酮等)、润滑剂(聚醚、硅油、基础油
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